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SPM扫描探针显微镜
参数分析仪4200A-SCS
超高真空磁控溅射系统
高速脉冲发生器 PSPL10300B
JCP-200B型高真空磁控溅射仪
金相显微镜（MV3000TRF）
全自动氦质谱检漏系统（SFJ-261）
引线键合机（West Bond 7476D）
精密阻抗分析仪（Agilent 4294A）
综合物性测量系统（PPMS-9T）
PLD-450a型脉冲激光溅射沉积系统
超高真空多对靶磁控与离子束溅射镀膜系统（DPS-LIM）
