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二维自旋探测器
电子能量分析器(含分析腔)
准分子激光器
X射线阵列探测器
自动化冷却循环系统
光路准直自动调节器
X射线发射器
热压装置
光刻机
溅射镀膜仪
去胶机
干涉仪