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质谱仪
红外显微镜
傅立叶变换红外光谱仪
电子透镜
电子能量分析器含分析腔
二维自旋探测器
电子能量分析器（含分析腔）
准分子激光器
光栅单色器（燃烧软X射线表面物理）
光束线镜箱（燃烧软X射线表面物理）
软X射线波前分析仪
X射线阵列探测器
