激光分子束外延设备

仪器编号：1106555S

运行状态：正常

功率：6000 W

能源单价：3.39 元 / 小时

测试单价：200.00 元 / 小时

已测试数：133 次

联系人电话：0551-63600012

激光分子束外延系统（LMBE）是在传统的分子束外延（MBE）和脉冲激光沉积系统（PLD）的基础上发展而来的，相比于MBE的热蒸发，它是使用脉冲激光的高能量使材料蒸发甚至电离而沉积到基底，因此被称作Laser MBE（激光分子束外延系统）。LMBE属于高端薄膜制备设备，适用于生长各种纳米尺度的单层膜或多层膜。 系统性能及优势：  超高真空沉积腔体，本底真空优于3 × 10-10mbar。  集成有STM和ARPES设备，可原位表征薄膜表面质量和研究薄膜电子性质。  可更换靶材，沉积各种纳米尺度的单层膜或多层膜。  沉积速率可调，基底可原位加热，载气分压可控。