分子束外延设备

仪器编号：20032623

运行状态：正常

功率：15000 W

能源单价：8.48 元 / 小时

测试单价：200.00 元 / 小时

已测试数：1375 次

联系人电话：63602085

超高真空分子束外延设备的本底真空在10-9Torr以上，带有三个K-cell蒸发源和两个电子束蒸发源，配有RHEED监测系统，带有1300度的超高温样品架，配有SVT的氧射频等离子体源，能够进行各种包括氧化物薄膜在内的各种高质量薄膜的外延生长。