激光分子束外延系统（Laser-MBE）

仪器编号：S00128

运行状态：正常

功率：10000 W

能源单价：5.65 元 / 小时

测试单价：400.00 元 / 小时

已测试数：66 次

联系人电话：0551-63606470

激光分子束外延系统（LMBE）是在传统的分子束外延（MBE）和脉冲激光沉积系统（PLD）的基础上发展而来的，PLD与提供原位监测的反射高能电子衍射仪（RHEED）相结合，使得系统能够实现类似于MBE的，单原子层精度的薄膜生长。LMBE属于高端薄膜制备设备，适用于生长各种纳米尺度的单层膜或多层膜。