飞秒激光原位泵浦探测系统

仪器编号：202697004S

运行状态：正常

功率：5000 W

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已测试数：0 次

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联系人邮箱：dongwu@ustc.edu.cn

具备微纳结构三维精密加工、在线动态监测、高速闭环反馈和高灵敏光学检测等功能，可实现近20 mm尺度的大范围加工，具有亚微米级空间加工精度、飞秒级时间分辨能力和高灵敏折射率检测能力，可广泛应用于微电子器件、光电子器件及微纳功能结构的制备与表征。