脉冲激光沉积系统（PLD）

仪器编号：S00130

运行状态：正常

功率：6000 W

能源单价：3.39 元 / 小时

测试单价：200.00 元 / 小时

已测试数：59 次

联系人电话：0551-63606470

中国科学院沈阳科学仪器研制中心生产的脉冲激光沉积（PLD）设备。PLD是一种新型的制膜技术，它利用激光快速溅射蒸发靶材产生等离子体，等离子体在基片上沉积形成与靶材组分相同的薄膜。可以通过调节基片温度、激光能量沉积各种高质量晶体薄膜。