非金属薄膜沉积系统
仪器编号：202601394S
运行状态：正常
功率：8300 W
测试单价：/ 元 / 小时
已测试数：0 次
联系人电话：0551-63601478
联系人邮箱：zhuwl@ustc.edu.cn
用于沉积SiOx，SiNx，多晶硅薄膜，所制薄膜可用于各种微器件电极钝化层或传感器与执行器的结构层。
