355nm微纳光刻系统
仪器编号：S00163
运行状态：正常
功率：360 W
测试单价：100.00 元 / 小时
已测试数：657 次
联系人电话：0551-6360448
联系人邮箱：lwang121@ustc.edu.cn
采用长春新产业AO-V-355-2W固体激光器，可做激光直写以及结合纳米天线的高精度加工
