原子层沉积设备
仪器编号：202438282S
运行状态：正常
功率：10000 W
测试单价：300.00 元 / 小时
已测试数：54 次
联系人电话：13696541261
联系人邮箱：gpguo@ustc.edu.cn
硅基量子比特器件绝缘介质层AL2O3的原子层沉积生长
