超高真空多腔室镀膜仪

仪器编号：202410811B

运行状态：正常

功率：20000 W

能源单价：11.31 元 / 小时

测试单价：1000.00 元 / 小时

已测试数：139 次

联系人电话：13635514596

超高真空多腔室镀膜仪由传样腔，镀膜腔和氧化腔组成。其中传样腔还具有Ar等离子体清洗衬底、残胶和表面氧化物等功能。镀膜腔是利用电子束流轰击靶材，实现金属薄膜沉积。氧化腔体通过控制氧化气体组分、气压和氧化时间实现薄膜表面的可控氧化。同时兼具原位超高真空退火功能。