感应耦合等离子体干法刻蚀机
仪器编号：2020499710
运行状态：正常
功率：4000 W
测试单价：1000.00 元 / 小时
已测试数：188 次
联系人电话：18956040752
联系人邮箱：ywustc@ustc.edu.cn
感应耦合等离子体(ICP)千法刻蚀机，用于金刚石材料的微纳米刻蚀加工。
