原子层沉积系统
仪器编号：202334580S
运行状态：正常
功率：2500 W
测试单价：240.00 元 / 小时
已测试数：207 次
联系人电话：15056930154
联系人邮箱：yifanye92@ustc.edu.cn
ALD腔体将用于制备原子级厚度的薄膜，可以制备的薄膜种类包括：金属、金属氧化物、金属碳化物。
