快速热退火炉

仪器编号：202307970S

运行状态：正常

功率：0 W

测试单价：0.00 元 / 小时

已测试数：374 次

联系人电话：0551-63603633

联系人邮箱：yongheng@ustc.edu.cn

该设备主要用于对半导体量子光源芯片进行快速热退火处理，可以降低金属-半导体界面的接触电阻。系统可允许在不同真空度环境下进行热退火。并且可以实现氩气、氧气、或氮气氛围下退火。