高精度电子束曝光设备
仪器编号：202318060S
运行状态：正常
功率：0 W
测试单价：0.00 元 / 小时
已测试数：285 次
联系人电话：15955129527
联系人邮箱：haiouli@ustc.edu.cn
利用电子束对光刻光刻胶层进行曝光并形成所需结构。
