微纳加工系统

仪器编号：S00473

运行状态：正常

功率：10120 W

能源单价：5.72 元 / 小时

测试单价：400.00 元 / 小时

已测试数：75 次

联系人电话：0551-63600062

可在衬底上沉积所需图案的 Ti、Au、Pd、Nb等金属以及SiO2等非金属材料。通过电脑控制一系列激光脉冲的开关，在光刻胶上直接曝光绘出所要的图案。具有自动对焦、高直写速度，高分辨率的特点。蒸发镀膜机配合电子束蒸发源可实现对多种靶材的蒸镀，大面积的腔体可一次置放6个不同靶材的坩埚；程序控制配方可实现单一、批量或自动的蒸发过程；高分辨率控制可实现低速率稳定性和一致的掺杂比率。