原子层沉积系统 （ ICP 等离子体型） MNT-PD100Oz-L4S2

仪器编号：202298111S

运行状态：正常

功率：8000 W

能源单价：4.52 元 / 小时

测试单价：50.00 元 / 小时

已测试数：241 次

联系人电话：0551-63606554

开展硅基可兼容铁电异质结领域研究，开展掺杂HfO2、BaSrTiO3类铁电薄膜的生长，科研界普遍采用原子层沉积获得高质量薄膜。此套原子层沉积，兼顾掺杂HfO2、BaSrTiO3的生长，需要定制化部分原子层沉积设备参数，主要需要双腔室实现500℃、无死区。具有等离子体功能。