电子束蒸发源
仪器编号：202221451S
运行状态：正常
功率：5100 W
能源单价：2.88 元 / 小时
测试单价：500.00 元 / 小时
已测试数：71 次
联系人电话：0551-63600062
坩埚位：6个； 蒸发物料： Ti、Au、Pd、Nb等金属以及SiO2等非金属; 电子束扫描图案：多种程序控制或自定义图案；
