蒸发镀膜机
仪器编号:202217641S
运行状态:正常
功率:5100 W
能源单价:2.88 元 / 小时
测试单价:500.00 元 / 小时
已测试数:11 次
联系人电话:0551-63600062
蒸发镀膜机配合电子束蒸发源可实现对多种靶材的蒸镀,大面积的腔体可一次置放6个不同靶材的坩埚;程序控制配方可实现单一、批量或自动的蒸发过程;高分辨率控制可实现低速率稳定性和一致的掺杂比率;后期可升级与手套箱联用;