聚焦离子束刻蚀
仪器编号：202215920S
运行状态：正常
功率：3000 W
测试单价：1200.00 元 / 小时
已测试数：184 次
联系人电话：18956040752
联系人邮箱：ywustc@ustc.edu.cn
用于金刚石材料的微纳米刻蚀加工以及金刚石传感器加工流程中工艺参数的表征。
