磁控溅射台

仪器编号：2020568310

运行状态：正常

功率：8000 W

能源单价：4.52 元 / 小时

测试单价：200.00 元 / 小时

已测试数：78 次

联系人电话：0551-63601478

设备可用于各种金属和非金属薄膜（如Au、Pt、W、Mo、Nb、Ti、Al、Si、SiO2等）的沉积，所制薄膜可用于微机电系统器件的 电极层、功能层等。