真空快速热处理炉

仪器编号：202109291S

运行状态：正常

功率：1520 W

能源单价：0.86 元 / 小时

测试单价：20.00 元 / 小时

已测试数：133 次

联系人电话：18605516547

利用卤素红外灯做为热源，通过极快的升温速率，将晶圆或者材料快速的加热到300℃-1200℃，从而消除晶圆或者材料内部的一些缺陷，改善产品性能。可根据实验要求不同通入氮气或者氧气进行退火。主要用于退火过程中的应变调控器件性能。