激光直写曝光机
仪器编号：2019575908
运行状态：正常
功率：600 W
能源单价：0.34 元 / 小时
测试单价：0.00 元 / 小时
已测试数：86 次
联系人电话：0551-63606041
电子束光刻机克服了这些问题，激光直写曝光速度快，精度能够达到亚微米，可以直接曝光图形，不需要掩膜版，大大缩减了设计和制备周期。
