量子光源专用感应耦合等离子体刻蚀机
仪器编号:2020331709
运行状态:正常
功率:3000 W
能源单价:1.70 元 / 小时
测试单价:0.00 元 / 小时
已测试数:256 次
联系人电话:15021327674
干法刻蚀镓砷基以及铟磷基半导体薄膜材料