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量子光源专用感应耦合等离子体刻蚀机

仪器编号:2020331709

运行状态:正常

功率:3000 W

能源单价:1.70 元 / 小时

测试单价:0.00 元 / 小时

已测试数:256 次

联系人电话:15021327674

干法刻蚀镓砷基以及铟磷基半导体薄膜材料