量子光源专用感应耦合等离子体刻蚀机
仪器编号：2020331709
运行状态：正常
功率：3000 W
测试单价：0.00 元 / 小时
已测试数：422 次
联系人电话：15021327674
联系人邮箱：yongheng@ustc.edu.cn
干法刻蚀镓砷基以及铟磷基半导体薄膜材料
