离子刻蚀机

仪器编号：2018937902

运行状态：正常

功率：0 W

能源单价：0.00 元 / 小时

测试单价：0.00 元 / 小时

已测试数：143 次

联系人电话：13956000290

IE-200NL是一种负载锁定型的反应离子蚀刻系统，它提高了工艺的可重复性，并允许腐蚀性气体化学。完全优化的工艺室设计可在ø8 "晶圆或ø220mm小晶圆的载盘上提供优异的均匀性。该系统可实现精确的侧壁轮廓控制和材料之间的高蚀刻选择性。