激光直写系统
仪器编号：2018994602
运行状态：正常
功率：3000 W
测试单价：800.00 元 / 小时
已测试数：340 次
联系人电话：18607555927
联系人邮箱：xbzhu16@ustc.edu.cn
激光直写系统是一种灵活、经济、高分辨率的图形定义系统，主要用于光刻掩膜版的制备以及光刻图形的直接定义。
