电子束蒸发镀膜仪

仪器编号：2018994102

运行状态：正常

功率：1700 W

能源单价：0.96 元 / 小时

测试单价：1600.00 元 / 小时

已测试数：174 次

联系人电话：18607555927

电子束蒸发镀膜仪用于1）沉积高质量的铝膜以及蒸镀约瑟夫森结，速率达到1nm/s，有5个坩埚，容量为15cc；2）角度蒸发，可竖直方向180度旋转，水平方向360度旋转；3）实现动态氧化，及静态氧化；4）离子清洗预处理；5）加热衬底预处理。