ICP干法金属刻蚀系统
仪器编号：1610206S
运行状态：待修
功率：2800 W
能源单价：1.58 元 / 小时
测试单价：1000.00 元 / 小时
已测试数：0 次
联系人电话：18949856499
ICP干法刻蚀系统是一种借助ICP源提高等离子密度，从而实现微纳米金属结构高速干法刻蚀的加工设备。
