光刻机
仪器编号：1505777S
运行状态：正常
功率：0 W
测试单价：0.00 元 / 小时
已测试数：85 次
联系人电话：13275600928
联系人邮箱：cylu@ustc.edu.cn
加工用于超导量子计算的样品；刻蚀出特定的结构；加工的样品用于小规模量子计算的演示。
