原子层沉积系统
仪器编号：1200282S
运行状态：正常
功率：1000 W
能源单价：0.57 元 / 小时
测试单价：200.00 元 / 小时
已测试数：45 次
联系人电话：0551-63607048
可以在多种衬底和纳米材料表面实现单原子层精度的、保形的薄膜（Al2O3和TiOx=2）沉积
