大行程激光干涉仪

仪器编号：2020216509

运行状态：正常

功率：500 W

测试单价：500.00 元 / 小时

已测试数：49 次

联系人电话：0551-63601987

联系人邮箱：xwdu@ustc.edu.cn

大行程激光干涉仪是合肥先进光源预研工程中需要的一种重要光学检测仪器，用于先进光束线中高精密运行部件的高精度测量，包括XL-80 XR20-W和XM-60各一套，分别实现大行程线性、360度角度高精度测量和线性轴6自由度误差同时测量。