光刻机

仪器编号：2018244703

运行状态：正常

功率：1000 W

能源单价：0.57 元 / 小时

测试单价：1200.00 元 / 小时

已测试数：62 次

联系人电话：63602120

光刻机通过汞灯发射出来的紫外光（i线、g线）均匀照射在掩膜版上，透过掩膜版的紫外光照射到光刻胶上，可以改变光刻胶的物理化学特性，形成与掩模版相同的图形，从而在光刻胶薄膜上实现了对掩模版上图形的复制。