等离子体刻蚀机

仪器编号：2020295609

运行状态：正常

功率：500 W

能源单价：0.28 元 / 小时

测试单价：500.00 元 / 小时

已测试数：101 次

联系人电话：0551-63602058

英国Oxford 反应离子刻蚀机PlasmaPro 800 RIE，是结构紧凑、且使用方便的直开式系统，该系统为大批量晶圆和300mm晶圆上的反应离子蚀刻（RIE）工艺提供了灵活的解决方案。大尺寸的晶圆平台能够处理量产级别的批量以及300mm晶圆的工艺。。