KZ-400离子束刻蚀装置

仪器编号：1400935S

运行状态：正常

功率：1000 W

能源单价：0.57 元 / 小时

测试单价：1000.00 元 / 小时

已测试数：182 次

联系人电话：0551-63602058

用于对融石英、半导体、金属、光刻胶等材料的离子束刻蚀；设备使用氩气及氟基气体进行离子束与反应离子束刻蚀；光栅及其它微结构表面的离子束刻蚀；大尺寸光学元件的离子束刻蚀。