离子刻蚀机

仪器编号：1305506S

运行状态：正常

功率：0 W

测试单价：0.00 元 / 小时

已测试数：390 次

联系人电话：0551-63602038

联系人邮箱：blueleaf@ustc.edu.cn

用于对融石英、半导体、金属、光刻胶等材料的离子束刻蚀；设备使用氩气及氟基气体进行离子束与反应离子束刻蚀；光栅及其它微结构表面的离子束刻蚀；大尺寸光学元件的离子束刻蚀。