台式无掩膜激光直写光刻系统
仪器编号：2018631502
运行状态：正常
功率：0 W
能源单价：0.00 元 / 小时
测试单价：0.00 元 / 小时
已测试数：38 次
联系人电话：18056099696
用于微机电技术中的光刻加工，使用无掩模光刻在玻璃或硅片上加工高精度光刻胶图案。适用与AZ，SU-8等多种光刻胶，可进行多层光刻。
