原子层沉积系统

仪器编号：2019414206

运行状态：正常

功率：3500 W

能源单价：1.98 元 / 小时

测试单价：500.00 元 / 小时

已测试数：7 次

联系人电话：0551-63601807

原子层沉积是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法，因此可以在原子尺度精确控制沉积膜的厚度。原子层沉积与普通的化学沉积有相似之处。但在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。