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电子束与电阻蒸发复合系统

仪器编号:1110303S

运行状态:正常

功率:18000 W

测试单价:100.00 元 / 小时

已测试数:383 次

联系人电话:0551-63600651

联系人邮箱:yjxiong@ustc.edu.cn

用于器件电极制作等的金属薄膜沉积