电子束与电阻蒸发复合系统
仪器编号：1110303S
运行状态：正常
功率：18000 W
能源单价：10.18 元 / 小时
测试单价：100.00 元 / 小时
已测试数：383 次
联系人电话：0551-63600651
用于器件电极制作等的金属薄膜沉积
