电子束与电阻蒸发复合系统
仪器编号:1110303S
运行状态:正常
功率:18000 W
测试单价:100.00 元 / 小时
已测试数:383 次
联系人电话:0551-63600651
联系人邮箱:yjxiong@ustc.edu.cn
用于器件电极制作等的金属薄膜沉积