分离式真空互联系统

仪器编号：S00385

运行状态：正常

功率：3000 W

能源单价：1.70 元 / 小时

测试单价：300.00 元 / 小时

已测试数：57 次

联系人电话：15955179657

基于低维量子材料综合真空生长互联平台是用于量子计算的关键性粒子开展的材料制备和物理性质研究的可分离式真空互连设备。它可以从主互联管道上任意拆卸而不破坏真空，实现灵活多变的组合系统。可以依据课题需要任意组合设备，极大程度降低真空互联系统的成本。系统主要包括三台分子束外延系统，一台移动分子束外延系统，一台互联装置，一台多功能样品传递装置等。 此系统包括真空腔室和多个离子泵和真空计等周边仪器，用于维持腔内的超高真空环境。电子束加热系统用于控制 MBE 生长的温度。