PECVD系统

仪器编号：2017689601

运行状态：正常

功率：250 W

能源单价：0.14 元 / 小时

测试单价：50.00 元 / 小时

已测试数：238 次

联系人电话：13865956725

借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。实验室可通气氛有Ar、O2、N2以及5%H2/Ar气体。利用该设备，也可以对催化剂样品进行表面处理，形成多种缺陷，调控催化活性。