有机-金属热蒸发系统

仪器编号：1603577S

运行状态：正常

功率：4000 W

测试单价：100.00 元 / 小时

已测试数：897 次

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本设备为手套箱和热沉积一体化系统，其特点是在手套箱进行光电器件制作，然后直接转入热蒸发系统进行金属电极沉积。设备主要技术参数： 1 腔 体：300*300*530（长*宽*高），采用SUS 304不锈钢制作； 腔体周围带有围板，方便内部清理； 腔体内装有卤素灯，方便观察内部状况； 2 开门方式：前开门采用转动形式，配上下二个观察窗，后开门采用平滑形式，配一个观察窗，后续可以和手套箱对接； 3 真空系统：国产600L分子泵+DN150气动插板阀+机械泵，带有旁抽系统，配气动DN25旁抽阀，气动前级阀及压差阀 带有旁抽系统，可以在不关闭分子泵的条件下，进行样品及材料的更换； 4 蒸发源： 6组水冷蒸发源位于腔体底部，蒸发源上配有盖板，打开方式为上下，防止交叉污染，蒸发源之间有隔板，可有效隔绝一定的温度； 5 蒸发电源：1套进口日本TDK系列，控制精度0.1%，2。4KW；可以切换到任意一个蒸发源； 6 极限真空：5×10-5pa；从常压到5*10-4pa小于40min（充氮气保护）， 7 基片盘： 100*100mm，加热温度：300℃，0-50转/分，转速连续可调； 8 真空测量: 复合真空计，测量范围从大气至1。0*10-5Pa (电离规和电阻规组合) 9 膜厚控制: 美国Inficon-SQM160膜厚控制仪，2个晶振传感器接口。 美国Mcvac水冷晶振探头2个。 10 蒸镀距离：300mm左右