PECVD系统

仪器编号：1400601S

运行状态：正常

功率：3000 W

能源单价：1.70 元 / 小时

测试单价：50.00 元 / 小时

已测试数：8 次

联系人电话：0551-63607330

科晶的PECVD系统，主要技术参数： （1）等离子射频电源主机 信号频率（W）：13.56MHz±0.005% 功率输出范围（W）：0~500 供电电压（V）：单向交流 187~253 冷却方式：强风制冷； （2）双温区滑轨炉 电压：220V 50Hz 功率：2.5KW 最高温度：1200℃;工作温度：<1100℃ 炉管：高纯石英管 ；应用：等离子体增强化学气相沉积应用广 泛，可制备各种金属膜，非晶无机膜和有 机膜。