三靶磁控溅射镀膜机

仪器编号：1604064S

运行状态：正常

功率：2000 W

能源单价：1.13 元 / 小时

测试单价：50.00 元 / 小时

已测试数：229 次

联系人电话：63606705

磁溅射镀膜机是一种普适镀膜机，用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系。可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其他化学反应膜，亦可镀铁磁材料。主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。