紫外光刻机
仪器编号：20012282
运行状态：报废
功率：9000 W
能源单价：5.09 元 / 小时
测试单价：100.00 元 / 小时
已测试数：930 次
联系人电话：0551-63601478
采用i线紫外线对感光薄膜图形光刻。光强稳定、均匀度±5%、分辨率达到2μm。 曝光样品面积不小于Φ110mm。
