射频磁控溅射
仪器编号：20029306
运行状态：正常
功率：3000 W
测试单价：100.00 元 / 小时
已测试数：101 次
联系人电话：63607574
联系人邮箱：xlxu@ustc.edu.cn
用于溅射氧化锌，二氧化硅半导体，金，银，铝等金属，分子泵机械泵级联真空系统，最大真空10-3Pa，靶材可加热
