CVD系统
仪器编号：20060138
运行状态：正常
功率：3000 W
能源单价：1.70 元 / 小时
测试单价：30.00 元 / 小时
已测试数：121 次
联系人电话：63607574
用于薄膜的制备及生长，双温区管式炉改装，极限真空10-2Pa，最大温度1100℃，气源包括氩气，硅烷
