离子束刻蚀系统

仪器编号：1209993S

运行状态：待报废

功率：3000 W

能源单价：1.70 元 / 小时

测试单价：300.00 元 / 小时

已测试数：1020 次

联系人电话：0551-63606040

该感应耦合等离子体刻蚀系统是微纳米加工半导体材料的必须设备之一，主要用于在半导体材料表面刻蚀出所需要的图形结构。其利用电感应耦合产生的大量的电离等离子体气体去反应刻蚀掉半导体样品基底或者半导体样品表面不需要的部分，剩下我们所需要的表面材料，以实现实验所设计的特殊图形结构。等离子体作为反应刻蚀源，能够刻蚀出具有高深宽比的微细纳米结构，从而为制备出高质量样品提供坚实的基础，是实验室制作微小纳米样品和器件的极佳选择。可进行高精度的芯片设计、加工。