电子束曝光系统

仪器编号：1006373S

运行状态：正常

功率：2000 W

能源单价：1.13 元 / 小时

测试单价：1000.00 元 / 小时

已测试数：993 次

联系人电话：0551-63606040

电子束曝光系统发射出的具有一定能量的电子束穿过已经设计好图案的掩模对样品表面的光刻胶曝光，可以使得被曝光部分与未曝光部分的光刻胶化学性质不同，从而将需要的图形转换至样品表面。之后可以方便的通过其他加工手段对样品进一步处理。