JGP-450A磁控溅射系统+CESAR 136射频/直流电源

仪器编号：1201431S, 1107960S

运行状态：正常

功率：5000 W

能源单价：2.83 元 / 小时

测试单价：100.00 元 / 小时

已测试数：149 次

联系人电话：0551-63600797

系统主要由溅射真空室、磁控溅射靶、基片水冷加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、电控系统及安装机台等部分组成。 极限真空优于6.67*10^-5 Pa；三套永磁靶；基片可加热至700摄氏度。